二手 CANON FPA 6000 AS4 #293752740 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293752740
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Argon Fluoride (ArF) scanner, 8"
CYMER Laser
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
Non-functional parts:
CYMER Chamber (MO / PA)
Reticle changer robot arm
Reticle pre-align stage
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是一种先进的自动化晶片步进设备，利用空中成像投影和高精度对准实现超高通量和极其精确的光刻结果。它专为半导体行业的全方位生产而设计，包括微处理器和IC。FPA 6000 AS4具有高度紧凑的系统结构,与以前的型号相比,它提高了吞吐量并减少了所需的空间。内置的AS4对齐步进器和模式模拟器提供了高精度的对齐方式，使模式位置和焦点在晶圆的所有区域都能精确对齐。自动步进器能够高精度地识别整个晶片中的偏移点。这增加了设备的精度和总体产量,特别是对于小间距集成电路。该机器配备了CANON最先进的CAP激活工具，大大降低了光刻工艺的能耗，从而实现了停机。CAP-activation是专门为了减少曝光前的时间，允许更快的吞吐量和更高的生产能力而设计的。此外，该资产还配备了先进的换塔模型，利用晶圆厚度测量信息自动切换成像光学器件。利用这一设备，佳能FPA 6000 AS4能够适应不同的晶圆厚度，优化其成像能力和打印质量。FPA 6000 AS4还配备了许多附加功能,以最大限度地提高吞吐量并提高准确性和可靠性。它的RC注册系统促进了连续产生的模式之间的高度注册，确保了异常高的模式可重复性。此外，该单元还配备了多个内置控制器和传感器，如晶圆位置传感器和用于精确运动控制的AFD传感器。这有助于确保阵列晶片的成像正确且无缺陷。最后，机器的人性化控制器为操作员提供了一个完全可控的图形用户界面，简化了设置和操作过程。此外,CANON FPA 6000 AS4提供了一系列软件选项,使用户能够自定义各种参数,例如模式的类型、数量、大小和分辨率。这使得该工具适用于各种光刻工艺，在生产过程中提供最大程度的控制和灵活性。
还没有评论