二手 CANON FPA 6000 AS4 #293753688 待售
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ID: 293753688
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
CYMER Laser, currently non-functional
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是为先进光刻技术而设计的最先进的晶圆步进器。这台创新的机器利用先进的光刻技术，如多重曝光投影，制造出高分辨率的蒙版。FPA 6000 AS4能够在大面积场上提供高达1.0 μ m的微线型。CANON FPA 6000 AS4具有最大工作面积6,000 x 6,000 μ m和5步变焦设备,可精确曝光晶圆。此外，它还具有高功率照明器、二维扫描和可变角度投影系统，以减少像差和畸变。该机还具有用于生产先进光学元件的高通量反射成像模式。FPA 6000 AS4具有多项高级功能,可帮助确保质量蒙版的生产。它具有内置的自动对焦和防准直系统，可以在曝光前精确对准掩模。此外，其先进的激光光学确保精确的高分辨率遮罩图样。CANON FPA 6000 AS4还有一个内置的自动曝光调平装置，使晶圆能够均匀曝光。FPA 6000 AS4的吞吐量高达每小时500晶圆,使其成为最快的晶圆步进器之一。它的高速旋转和二维扫描确保了各种模式的快速和准确的生产。此外,它的用户友好界面使其易于编程和操作。CANON FPA 6000 AS4是一种高度可靠和耐用的机器。它采用刚性和防尘设计，防止污染和磨损。与其他同类晶片步进器相比，该机器的故障率也较低。此外，它的内置维护机器使检查和诊断机器的任何问题变得容易。总体而言,FPA 6000 AS4是一种高度先进的晶圆步进器,可提供高精度光刻掩模生产。其先进的功能集、高通量、可靠性和耐用性使其成为先进光刻应用的理想选择。
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