二手 CANON FPA 6000 AS4 #293753702 待售
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ID: 293753702
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
2003 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是一种先进的晶圆步进器，旨在促进光刻成像过程。该机具有5.8 μ m的图像尺寸精度、1.6nm的覆盖精度以及高达每小时100个晶圆的快速成像工艺速率，适用于高容量、高通量的半导体生产。该机配备了高精度、低负载的六轴机器人，用于快速、精确的舞台运动，并具有垂直振动补偿设计，以确保在单个晶片上打印多个芯片时能够产生最佳效果。此外，该机配备了高性能准分子激光光源，保证了高分辨率图像和最小曝光时间。这使得该机适合大批量、高吞吐量生产。FPA 6000 AS4还具有可靠的液晶光束成形设备,可提供高精度的光束偏转控制。这使机器能够高精度地处理,并有助于减少任何潜在的表单错误。机器还提供自动对焦控制，使打印图像能够准确快速地产生，而不管舞台和基板条件如何。此外，它还具有自动化对准系统，允许用户在打印前快速调整光束位置，提高打印图像的分辨率和准确性。除了成像功能外，该单元还提供了高级模式编辑工具，允许用户以更精细的细节设计高级模式。再者，可以精确跟踪图桉放置，使印刷图桉准确，不分舞台位置。最后，机器配备了健壮的数据管理机器，为用户提供存储各种数据的能力，包括参数、配方和测量结果。这使得管理多个晶片和管理每个晶片的生命周期变得容易。综上所述，CANON FPA 6000 AS4是一种先进的晶圆步进器，能够为光刻工艺提供高精度、高通量的成像。该机成像速度快,设计可靠,非常适合任何光刻环境,尤其是那些需要大量产品的环境。
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