二手 CANON FPA 6000 AS4 #293815419 待售

CANON FPA 6000 AS4是一个晶圆步进器，提供了一个小占地面积和大光学透镜，使其成为一个理想的选择光刻工艺。这种晶片步进器在0.40NA时的最大透镜尺寸为150 mm，并且由于其先进的光学元件而能够在半球形表面上曝光。FPA 6000 AS4还具有200 mm的磁场尺寸和最小的激光光斑尺寸,最大可达0.5微米。该设备配备了各种特性和技术，如其有源的网罩对准设备，提供了使用佳能专有的网罩对准系统提高精度和改进迭加控制的能力。CANON FPA 6000 AS4还配备了CANON先进的弧形场照明装置和空气动力学对焦机，以加快曝光时间。这种晶片步进器还具有高达0.90的大传感器数值孔径，具有六个独立的检测区域，这使得它比市场上其他晶片步进器更精确、更强大。此外,FPA 6000 AS4具有广泛的曝光和扫描格式选择。这包括基于光栅的二进制曝光、光掩码扫描、狭缝扫描和线路扫描,以及每个应用程序的格式选择。此外，CANON FPA 6000 AS4有一个专有的即时照明工具，根据曝光形状调整照明模式。这样可以确保图像被精确均匀化以获得最佳结果。FPA 6000 AS4提供的所有功能使其成为各种光刻工艺应用的理想选择。