二手 CANON FPA 6000 AS4 #293815444 待售

CANON FPA 6000 AS4是一种顶级晶圆步进器，旨在实现用于生产半导体器件的高精度光刻。该机配备了特殊的高分辨率4-kW激光扫描仪，提供卓越的精度和均匀性。该机设有高速对准设备，使用多个探测器检测扫描线失真，调整X轴和Y轴的对准。双CCD摄像机确保精确的迭加对齐,并具有亚像素精度。此外，该机还采用先进的扩展场匹配和自动焦点跟踪系统，提供卓越的过程控制。这些系统能够对脆弱晶片上最细小的结构进行精确的光刻成像。此外,自动快门装置可确保所有掩蔽级别的均匀吞吐量和不均匀曝光。该机还配备了用于高精度扫描的长寿命扫描编码器和采用专利技术设计的超稳定晶圆处理机。这些特性使得晶圆表面上即使是最微小的图桉也能进行出色的操作和对齐。高级软件还提供了对成像过程的额外过程控制和微调。该机还提供佳能AMF-FT（自动匹配功能自由拓扑）卓越的晶圆粘合能力。这种独特的特性提供了优越的粘合参数，最小化了掩蔽失真，并保证了高度并行化的对齐。FPA 6000 AS4是当今最高端的晶圆步进器,提供无与伦比的精度和均匀性。先进的工艺控制、优越的扫描、优越的晶圆粘合能力使这台机器成为成功生产高端设备的理想机器。