二手 CANON FPA 6000 ES5 #9227776 待售
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ID: 9227776
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
KrF Scanner, 12"
248 nm
System configuration:
Type: Notch
LCP Wafer chuck
L-Type wafer thermal controller plate (WTC)
System layout:
Left type: Inline direction
TEL Lithius track interface
Auto feeder: Type X
Front side only e-console kit
Right type, 12"
Open cassette
Canon standard booth unit
(3) Color signal towers
Reticle, 6"
Reticle SMIF changer unit
Reticle barcode reader
Pellicle particle checker (Pellicle height: 5mm)
GIGAPHOTON G40K3 Excimer laser
2004 vintage.
CANON FPA 6000 ES5是一种先进且精确的晶圆步进器,它利用先进的光学和机械元件提供精确且可重复的结果。该设备是一个先进的步骤和重复集成系统,能够提供准确和可重复的晶圆处理与高收益率。该单元可用于多种不同的光刻工艺,包括单次、双次和多次曝光。晶圆步进器可用于各种不同的过程,包括光刻、半导体、MEMS和电路板处理。该机器采用先进的超精密扫描仪和成像工具,配有专门设计的光学元件,能够提供高精度和精确度,同时处理最复杂的图样。该资产包括一个特殊的高设置精度功能,它允许快速设置模型并减少测试处理所需的时间,从而在通常时间的一小部分内实现高质量的结果。成像设备包括带9个曝光门的4k x 4k CCD和高速直线电动机,可提供高精度和精确的扫描模式。该系统仅使用单个扫描即可实现流程的可重复性和统一性,从而无需多次曝光,从而节省了时间、精力和成本。包含在单元中的控制软件,提供了用户友好的界面和集成层管理、自动模式优化和晶圆检测等功能的广泛列表。机器还能够自动补偿由于环境温度变化而可能发生的错误。这确保了连贯的结果,即使在困难的环境条件下也是如此。FPA 6000 ES5是那些需要高精度和重复性、使用较小基板或需要快速轻松地处理大量晶片的人的理想工具。该模型的高级成像和光学资产为用户提供了一种能够快速、轻松地满足许多晶圆处理应用要求的最终产品。
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