二手 CANON FPA 6000 ES5 #9253683 待售

CANON FPA 6000 ES5是由CANON Inc.製造的晶圆步进器，以高精确率提供先进半导体器件层的精密放置和阵列。它拥有内置的先进光刻设备，非常适合半导体器件制造和Deca曝光等工艺。步进器使用两次曝光来改进对准和精确放置。它还有一个可选的操作环境，可以处理不同的加工条件，比如高温和可变气体大气。FPA 6000 ES5配备了高级功能,可实现高效、精确的晶圆级阵列。这些特点包括先进的激光干涉仪系统、气刀单元以及平均放置精度在2µm以内的高精度温控抗蚀剂开发机。其高分辨率自动聚焦工具在任何给定位置提供最佳曝光过程。步进器具有6k像素阵列图像感测单元,可提供高分辨率阵列处理功能。还结合了具有低噪声快门功能的高速自动快门，增加了资产的吞吐量。步进器最大分辨率为5微米，能够处理6英寸和8英寸晶圆。CANON FPA 6000 ES5设计用于低功耗、低水蒸气含量。其先进的环境控制模型可在20°至30°C的过程温度下实现高效性能,而无需额外冷却。机器还提供精确的曝光纬度控制，以严格调节模式分辨率。步进器设计了多种通信接口,包括以太网、USB和RS-232,非常适合调试和维护操作。此外，其综合检查设备确保准确放置和检测错误。FPA 6000 ES5还设计为易于维护,具有干净的接口、缩短的校准时间和高级监控功能。