二手 CANON FPA 6000 ES6 #9194861 待售

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CANON FPA 6000 ES6
已售出
ID: 9194861
KrF Scanner 248nm.
CANON FPA 6000 ES6是CANON製造的尖端精密晶圆步进器。该模型被设计用于各种科学和工业过程,这些过程需要在广泛的应用中获得精确、准确和可重复的结果。CANON FPA-6000 ES6具有内置的自动对焦系统,能够提供激光扫描和跟踪,并且具有高度精确的聚焦阶段。因此,这使得该单元能够用于需要步进器的对齐、测量、可重复性和精度的应用中。此外,ES6被设计为能够处理12英寸到8英寸的晶圆,并配备了一个或两个精密口罩。FPA 6000 ES6还具有各种最先进的光学和照明系统,以便在晶圆扫描过程中准确检测和处理缺陷和缺陷。这些系统允许可靠地使用不同的协议,从而在晶圆步进过程中提高速度、精度和精度。除了令人印象深刻的光学和照明系统外,ES6还拥有高度先进的成像系统。该装置能够产生高达5微米的分辨率,同时仍保持高达6 000个场/秒的高截面率。这与它的自动曝光调整以及它的线条和面积测量特征相结合,以进一步提高它对各种苛刻过程的适用性。由于这些特点,FPA-6000 ES6非常适合要求高精度和一致性的各种苛刻的科学和工业过程。这包括光掩模对准和印刷,半导体晶圆级制造,以及检查各种嵌入式结构。该ES6配备了完全集成的软件套件,确保各种复杂的流程能够轻松可靠地完成。
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