二手 CANON FPA 6000 ES6 #9210240 待售
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已售出
ID: 9210240
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
KrF Scanner, 12"
248 nm
Loading config: Right hand loader
In-line with TEL Clean Track Lithius
Notch type, 12" (LCP Wafer chuck equipped)
R-Type, Type X Auto feeder
LITHIUS Type Coater developer
R-Type Inline direction
R-Type: Wafer thermal controller plate, 12" (WTC)
L-Type: Open cassette, 12"
CANON Standard booth unit
Reticle changer (Reticle SMIF changer unit)
Reticle barcode reader: 6"
Pellicle particle checker type: 6" (Pellicle height 5mm)
GIGAPHOTON G41K3-1H Excimer laser
RH Type: Delivery optics
Front side e-console kit
Signal tower type: 3 Colors
Power: 200 AC, 3 Phase
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6晶片步进器是一种精密光学成像工具，利用先进的技术，让用户能够精确地检查、检查和加工各种基材，包括复杂的材料和结构。这使得它成为半导体制造、研发的完美工具。CANON FPA-6000 ES6非常精确,可提供高达1.2秒的高速成像速率。它的六个单独的曝光头包含各种透镜和斜面光学器件，以允许在基板曝光的灵活性，使其成为理想的工艺成熟和缺陷检查。此晶片步进器的高速动态成像模式提供了显着的成像加速度,可提供高达175X的曝光速度。它还具有广泛的光谱照明源，具有从紫外线到红外线的波长，包括可见光和不可见光，可用于优越的成像。这样可以实现高分辨率和对比度测量,非常适合各种应用。FPA 6000 ES6还通过其自动晶圆处理和预对准系统提供了符合人体工程学的环境。这些功能使用户能够快速准确地将晶片移入和移出步进腔室,从而进一步简化流程。这对于高通量工作特别有用。该设备也是高效的，拥有低能耗照明系统，比传统的成像系统耗能少90%。这与增强的冷却装置相结合,使温度始终保持在最佳范围内。这有助于延长机器的使用寿命,同时降低成本。最后,FPA-6000 ES6提供了一系列高级功能,旨在确保顶级性能和效率。其中包括自动校准工具、消除手动对焦调整的自动对焦资产,以及获得专利的低密度粒子束（LDPB）,可增强图像一致性和对比度。所有这些功能都有助于提高模型的整体可靠性和生产率。
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