二手 CANON FPA 6000 ES6 #9235775 待售

CANON FPA 6000 ES6是一种晶圆步进器,旨在支持高级包装应用。CANON FPA-6000 ES6提供了广泛的功能,旨在实现最佳性能。它采用Opto-Bedsteable对齐技术，以较少的不确定性和可追踪性实现微妙之处。这是由新开发的先进检流计反射镜系统实现的，该系统可以轻松地将曝光位置调整到0.1微米，即使曝光水平很高，也能提供更高的精度和准确性。FPA 6000 ES6配备了先进的精密多层曝光（PMLE）和高传输空间。这允许步进器保持高分辨率，在最大3微米层对层配准范围内具有均匀性。这还带有快速的线宽映射和用于3D设备制造的同质过程,从而在同一层中实现了更高的精度和吞吐量。FPA-6000 ES6配备了几种先进的自动化功能。这包括一个自动对焦系统,该系统允许使用1 X、5 X和10 X目标,从而可以手动或自动校准图像、图样和晶圆位置。它还允许高密度电镀（HDP）工艺,使处理时间减少多达40%。此外，它还支持不同的晶圆尺寸，从8英寸到12英寸不等。这暴露了下一代晶圆技术的生产，这种技术可能足够用于复杂的堆迭或其他设计。高精度CANON FPA 6000 ES6也被设计为实现更高的性能吞吐量。这是通过在不影响精度和精度的情况下将舞台速度提高到最大2.8英寸/秒来实现的。此外，它的对准精度为0.3微米，减少了由于对准不良造成的非生产力。其CCD型对准使其能够在9.6mm的广域上测量，同时减少测量时间。最后,CANON FPA-6000 ES6配备了互锁内存控制,以备份写入数据,并确保对齐和曝光过程与芯片设计精确匹配。它还具有对准误差峰值检测的双跟踪系统。这提供了分层和精确的纬度，以确保在整个过程中精确稳定的晶圆运动。