二手 CANON FPA 6000 ES6a #9193101 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一种晶圆步进器,专为需要高精度、出色对准和稳定操作的设备制造过程而设计。它是一种先进的工具,可提供更好的生产吞吐量和最小的晶圆损耗。CANON FPA 6000ES6A的性能是基于其优越的光学设备、高NA投影透镜的组合，以及用于非常精确的迭加对准的四传感器晶圆对准系统。高NA投影透镜为NA 0.75，提供1.5 µm的优越分辨率；这和四个传感器有助于非常精确的对准。内部晶片处理模块提供了更高的精度，精度高达± 2 µm，以有效实现晶片上的分离曝光，从而产生更小的元件。此外，步进器具有独特的晶片卡盘设计，其提取晶片的次数比传统晶片步进器少，这意味着更少的粒子污染机会。FPA-6000ES6A提供卓越的处理速度和准确性。它在整个晶片上提供高达12秒/层的曝光速度。此外，它的成像均匀性非常出色，使得每个晶片在晶片上的对准都非常可靠。用户友好的DSC1000单元是FPA 6000 ES6a的核心,使用户能够轻松访问所有功能。这台机器为用户提供了每一层的全面数据集，允许根据流程配置文件分析结果并运行一致的优化。此外,CANON FPA-6000ES6A还具有自动对焦和晶圆夹具识别等多种用户友好功能。这些实用功能将设置时间和手动操作次数降至最低。而且，自动夹具装载机允许在晶片卡盘上放置多个晶片夹具而不会中断，确保晶片可以随时准备生产。最后,构建了CANON FPA 6000 ES 6A,以实现长期可靠性。它有一些关键的安全组件，如晶圆破损检测工具和灰尘检测传感器，以确保可靠的操作。FPA 6000 ES 6A是器件制造工艺中精密光刻的理想选择。它结合了多种功能,成为商业级别生产和开发的可信赖解决方桉。