二手 CANON FPA 6000 ES6a #9198402 待售

CANON FPA 6000 ES6a是用于制造微电路、光掩模等相关产品的晶圆步进器。它利用大视场（77mm x 78mm）确保设备能够精确成像，并具有0.45um的高分辨率进行针孔检查。该设备具有双面阵列和双面对准功能,能够高效制造多层设备。CANON FPA 6000ES6A采用点对齐和自由对齐补偿相结合的综合覆盖精度。此外,还设计了波长扫描以优化图像增强.在FPA-6000ES6A中使用的镜头的设计使得它提供了一个清晰的成像场具有出色的对比度和最小耀斑提供了最高的性能。而且，这种透镜覆盖了很大的波长范围，可确保满足各种设备的需求。该ES6a的最大吞吐量达到了令人印象深刻的180 wspm。CANON FPA-6000ES6A内置聚焦和图案定位传感器,以及配有高分辨率数字图形显示屏的微镜设备,可实现最佳的过程控制。FPA 6000 ES6a旨在为传统双反射镜系统提供经济高效的替代方桉。它配备了静电100kHz扫描镜,减少振动以提高吞吐量速度并减少停机时间。此外，ES6a还需要一个透镜帽对准功能，其目的是减少频繁优化和缩短调整周期的需要。CANON FPA 6000 ES 6A也有高灵敏度的光掩模对晶圆对准系统。对准系统提供的主要好处是，它确保了以亚角度精度从目标位置到位置的高精度移动。此外，为了确保最小的耀斑，晶圆步进实现了进口单色显示器的高精度视觉控制。总体而言,FPA 6000 ES 6A是一种非常先进、高效和可靠的晶圆步进器.其广阔的视野、令人印象深刻的分辨率、迭加精度和广泛的功能使其成为高精度制造微电路、光掩模及相关物品的理想解决方桉。