二手 CANON FPA 6000 ES6a #9210238 待售

ID: 9210238
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Fine pattern aligner, 12" KrF Scanner: 248nm Notch wafer LCP Wafer chuck Auto feeder: L Type, Type X Loading config: Left hand loader Coater / Developer: LITHIUS Type Inline direction: L Type L-Type wafer thermal controller plate (WTC), 12" R Type open cassette, 12" CANON Standard booth unit Reticle changer Reticle SMIF changer unit Reticle barcode reader, 6" Pellicle particle checker, 6" Gigaphoton G41K3-1H excimer laser RH Type delivery optics Front side only e-Console kit Signal tower: (3) Colors type Power: 200 AC, 3 Phase 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a是一种精密的晶圆步进器,用于半导体制造和光刻应用。这台高端机器具有简单的线性指数、超快的低模工艺和低磨损指数。步进器能够使用宽范围的晶片,直径从3-12英寸不等,并且可以容纳范围的厚度,从2mm到10mm。CANON FPA 6000ES6A的核心是一种高度精确的光学组件,它利用激光二极管扫描技术将图样和三维形状精确地传递到晶圆表面上。该设备能够以高达1微米的精度定位和对准零件,非常适合制造高度详细和复杂的设计。FPA-6000ES6A包括一系列先进的特性和工艺,包括两级检查设备和二维晶圆对准技术。此外,先进的离散化技术使机器能够在每次指定时精确地放置几何形状。CANON FPA 6000 ES 6A还具有高速晶片处理系统,允许晶片快速装卸,提高了循环时间,提高了生产率。此外,该装置还采用了几种先进的干燥技术,以保护暴露区域不受非均匀润湿和其他污染物的影响。佳能FPA-6000ES6A由特殊的耐用材料构成,以保护内部部件免受灰尘、碎屑和其他环境因素的影响。整个单元设计方便访问和维护,非常适合长期使用。除了前沿功能外,FPA 6000ES6A还具有全面的用户界面,与一系列软件包集成在一起,能够方便、实时地监控机器性能。此外,直观的软件允许用户快速轻松地将工具适应特定的需求。总体而言,FPA 6000 ES6a是一款令人印象深刻的晶圆步进器,具有先进的功能和直观的用户界面。它的精度、准确性和坚固的设计使其非常适合各种光刻和半导体制造应用。
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