二手 CANON FPA 6000 ES6a #9227778 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一种最先进的高分辨率机器，旨在生产用于生产半导体晶片的高质量光掩模。这是一个步骤和重复/激光对准/模式发生器/覆盖测量设备具有极高的精度和高分辨率。该机器非常适合生产低至0.18 µm （7.5 nm）的特性。它提供了多种功能,包括多种曝光选项、曝光对齐方式、离轴对齐方式、迭加精度和跨场对齐方式。CANON FPA 6000ES6A提供了一系列令人印象深刻的功能、选项和创新技术,使其成为生产先进芯片和其他半导体晶片的首要选择。该机主要部件为高分辨率激光步进器、对准站、线性定位系统、集成激光图样发生器、大容量晶片级、可调聚焦单元和综合控制机。该光学工具包括一个照明设备，具有近乎衍射受限的光学设备，可提高对比度和分辨率；一个裸露的图像对准模型；一个内置的激光图样发生器，具有独特的分束器，可提供卓越的覆盖；以及一个在产生低至0.18 µm （7.5 nm）的特征时可达到最佳覆盖精度的减速设备。新开发的离轴对准系统为迭加测量和交叉场对准提供了最高的精度和精确度。FPA-6000ES6A还具有专用软件,可控制机器的所有内置功能和选项。它设计方便导航和操作，为用户提供卓越的生产力和图像质量。使用其可选的自动模式生成器,用户可以快速创建模式文件并将其加载到步进器曝光单元的每个阶段。自动迭加补偿系统可实现精确的多曝光对准,以实现对迭加特征的高精度配准。用户可以访问更高级的功能,例如晶片上的缺陷修复和在单个芯片上重复模式的跟踪修复,这是一个选项。FPA 6000ES6A是高精度工业生产、先进晶圆级封装、光电等多种应用的绝佳选择。它为用户提供了高分辨率成像和迭加对齐选项的选择,使其适合提高生产产量、准确性和可靠性。这台机器非常适合以质量为导向的企业和半导体行业中那些在生产精密优质晶片方面需要最大性能的企业。