二手 CANON FPA 6000 ES6a #9235776 待售

CANON FPA 6000 ES6a
ID: 9235776
晶圆大小: 12"
Steppers, 12".
CANON FPA 6000 ES6a晶片步进器是用于先进光刻应用的新型工具。这种装置能够以高精度和高精度对晶片进行制图。通过使用真正的成像透镜设备,曝光过程的精度和分辨率大大提高。CANON FPA 6000ES6A是一种步进器,具有多功能、高精度的成像光学系统。这种光学装置的设计保证了晶圆的精确图样.FPA-6000ES6A的最大投影图像尺寸可达21mm x 21mm,投影机的数值孔径为0.70,可变聚焦系统可用于不同的聚焦深度。此外,步进器还配备了CYD光学器件,可确保图像在整个曝光过程中保持聚焦。该装置还配备了曝光过程的各个阶段,如晶片夹、投影对准、德加、图像标线运动、自动对焦工具、步进运动、检测资产等。所有这些阶段都是为了减少整个光刻工艺时间而设计的。CANON FPA 6000 ES 6A具有可编程曝光时间,使用户可以轻松控制每个阵列制作过程的曝光时间。CANON FPA-6000ES6A具有极其精细的特征模式。它具有0.26 μ m的最大分辨率的特征大小和设计,以确保晶圆非常精确和精确的图样。此外,该设备还能够以非常高的精度将光掩模覆盖在晶圆表面上。FPA 6000 ES6a极其可靠,用户友好。它便于维护,具有很高的可重复性级别。此外,该装置能够在很短的时间内产生非常精细的质量模式,使其成为高产量和大规模生产应用的理想选择。
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