二手 CANON FPA 6000 ES6a #9247815 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一种高性能晶圆步进器,旨在使制造商能够满足其业务的严格要求。该ES6a是为精确、速度和可靠性而设计的独立设备。该ES6a非常适合半导体生产过程中使用的晶圆步进器，因为它具有高分辨率的图像和精确的图样处理能力。它非常适合于将功能尺寸降低到120纳米,从而可以创建更小、更复杂的集成电路。该ES6a设计为使用不同的晶圆尺寸，从4英寸到8英寸不等。它具有独特的专有可变日光系统（VDS）源,能够在各种晶片上实现一致的成像。VDS还消除了在操作过程中重新定位的需要,最大限度地提高了吞吐量和工作流效率。该ES6a采用高分辨率扫描装置，利用3.5微米的激光光斑大小来提高图像精度。它还具有先进的光学机器，提供多种成像格式，允许高效和全面的模式生产。该ES6a采用CANON专有的A&C自动校准工艺进行设计,以确保精确的阵列和成像。自动校准系统可在阵列操作过程中加快设置时间并提高可靠性。步进器还有一个先进的晶圆信息工具，用于监测阶段位置和曝光强度等过程参数，确保操作方便。该ES6a配备了强大且用户友好的互锁资产，可防止晶圆意外损坏。它还具有先进的晶圆级映射功能,以确保精确的阵列放置,以及确保可重复阵列放置的位置检测模型。该ES6a是一种理想的晶圆步进器,用于需要精确度和吞吐量的生产操作。它能够产生高质量的图像和图样，具有准确性和可重复性。它的众多高级功能使它能够最大限度地提高效率和生产力,同时将成本降至最低。