二手 CANON FPA 6000 ES6a #9251795 待售

CANON FPA 6000 ES6a是世界领先的先进半导体加工晶圆步进器。这种最先进的设备提供了高吞吐量、可重复的高分辨率成像,以及从低成本到最先进的晶片经济高效地生产设备所需的灵活性。CANON FPA 6000ES6A晶片步进器配备了场发射源，能够在整个晶片上实现极精确的对准重复性，允许在亚微米精度下实现步进和曝光重复性。该系统的高数值孔径为0.23,极短的聚焦长度仅为6 mm,可实现卓越的图像分辨率和特征识别,是薄膜沉积和复杂3D特征制作的理想设备。该设备的最大吞吐量为每小时200毫米晶圆,可加快周期时间和提高生产运行效率,从而缩短生产周转时间并降低成本。除了典型的半导体加工之外，FPA-6000ES6A晶片步进器还允许先进的晶片加工。集成的快速工具更换器、低振动成像以及快速、直观的软件算法等功能可实现标线的自动放置和对齐、设计优化以及严格的过程控制。与步进器集成的主迭加机在过程优化方面提供了额外的灵活性，为用户提供了增强的生产成果。FPA 6000ES6A晶片步进器提供一系列高级功能和选项,以进一步定制生产并降低成本。Premium Automation Suite提供实时流程监控,而Control Unit则允许高级统计流程和产品控制。端到端晶片处理解决方桉为批处理和单晶片处理提供了从晶片到晶片的轻松过渡。总体而言，CANON FPA-6000ES6A是一种功能强大且可靠的晶圆步进器，设计用于高效且经济高效的半导体生产。它的高分辨率成像和自动化算法的集成使其成为高级晶圆处理和功能的理想选择,而其快速的吞吐量和可定制的选项确保它能够满足任何生产环境的需求。