二手 CANON FPA 6000 ES6a #9281803 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一种高精度、高性能的晶圆步进器,能够进行高重复精度的纳米级阵列。它在半导体工业中尤其有价值，因为它可以产生极精细的模式，具有很高的准确性和可重复性。该ES6a利用超短脉冲（USP）激光器技术,产生低至16nm间隔的阵列。它还为高分辨率设备采用了一系列先进的光刻技术。PAT-TM对准设备可在曝光期间实现精确对准,从而实现最精确的阵列化。经验证可靠的振荡级驱动系统以高度可重复的方式精确、精确地移动晶片。它还配备了CANON专利的"Compact-Step"，减少了曝光步骤操作之间的时间。成像单元利用步进器，能够支持一系列成像格式以及边缘定位脉冲。使用各种传感器快速检查隔离颗粒的位置和存在，并使用高度敏感的成像机对颗粒进行大小确定。辅助光学器件可用于对整个操作进行实时监控。该ES6a是一个高效晶圆步进具有一个浮动石英/陶瓷腔室内置气体控制，以及一个低调的卡盘。这些功能可实现稳定的阵列设计,以实现最佳的线宽可重复性、更高的吞吐量和更好的整体质量。此外,专有的超Light™激光荧光监测器（SLF）确保精确的晶圆聚焦和图样覆盖缺陷得到控制。该监视器还能够检测各种缺陷，如感光材料的聚集。该ES6a是一个全面的晶圆步进能够产生高度可重复，极其精细和精确的纳米模式。它是半导体行业的重要工具，能够可靠地提高生产吞吐量，同时保持优良的质量。