二手 CANON FPA 6000 ES6a #9293799 待售

CANON FPA 6000 ES6a Wafer Stepper是用于制造集成电路（ICs）的最先进的紫外光刻系统。该机结合了先进的激光光学、高精度的6轴级和自动卡带传输，以提高吞吐量，减少晶圆处理时间。该机器能够产生小至15纳米的特性，非常适合生产高密度集成电路、内存设备和光电元件。CANON FPA 6000ES6A以193nm ArF激光器为激发源，允许比行业标准KrF光刻高得多的分辨率。该激光器采用高精度光学准直器和6轴反射镜转向组件进行聚焦和定向，能够将光束精确定位到纳米规格以内。舞台采用集成的高分辨率激光扫描仪，使其能够在曝光前将晶片精确沉降到适当的位置。该机还配备了自动卡带传输系统，可以将晶片快速装卸到系统中。这允许在每个周期中处理多个晶片，从而导致吞吐量显着增加。再者，转印机制设有晶片鳍片，使得晶片能够从卡带快速转移到舞台再回。总体而言，FPA-6000ES6A晶圆步进器是一种有效可靠的半导体加工工具。其先进的激光光学、6轴级和自动盒式传输相结合，使其具有卓越的晶圆处理能力。它非常适合生产复杂、高密度的IC和内存设备,使其成为现代半导体制造业的宝贵工具。