二手 CANON FPA 6000 ES6a #9296964 待售
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CANON FPA 6000 ES6a是一种6英寸晶圆步进器,用于半导体生产中的光刻。与其他晶圆步进器相比,它实现了极高的精度、准确性和吞吐量。它具有几个独特的特点,使其成为全球半导体设施的首选。佳能FPA 6000ES6A最重要的特点是其6英寸图像传感器。这种传感器被设计用来捕捉每个像素的非常精细的细节,允许极其紧密的配准和精确的覆盖光刻。传感器还提供了一个惊人的视野-高达36mm-允许整个晶圆表面的全覆盖。这对于现代大型半导体制造工艺尤为重要。FPA-6000ES6A还配备了最新的对齐硬件和软件。它有一个非常精确的分级系统,用于定位晶片,精度为0.10 µm。这样可以确保晶片在每次曝光前正确对齐在舞台上。CANON FPA-6000ES6A具有高精度光刻能力,对于小于光源波长的特征,最小线宽可达0.25 µm,对于大于光波长的特征,还具有额外的曝光步骤。最后,FPA 6000ES6A是最快的晶片步进器,可实现多达80个晶片/小时的吞吐量。这一令人印象深刻的吞吐量水平使半导体设施能够迅速将其产品推向市场。总体而言,CANON FPA 6000 ES 6A是先进半导体制造工艺中一种特殊的晶圆步进器。其顶级的6英寸图像传感器、精确的对准硬件和软件,以及高速吞吐量,使其成为宝贵的设备。
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