二手 CANON FPA 6000 ES6a #9296965 待售

CANON FPA 6000 ES6a是晶圆步进器,属于CANON ES Equipment开发系列ES for Efficient Solutions的一部分。CANON FPA 6000ES6A晶片步进器是为高效、精确的晶片级器件生产而构建的。其最小特征尺寸为0.25微米，机械对准精度为0.5微米。高通量和可重复性使其适合各种设备制造过程，包括高精度的IC、被动组件、MEMS和生物传感器。步进控制器最多可存储30种工艺配方，使用户能够快速高效地在不同的设备组件、工艺和基板之间进行切换。步进器具有可移动的5轴掩模台和基板级,掩模台可容纳各种掩模尺寸,并能够将掩模与基板直接对齐以实现高精度对齐。可移动基板级允许装载300 mm的基板并将其牢固地固定在适当的位置。FPA-6000ES6A采用了新的Fluoro Scanner,它利用激光波长实现了更快的曝光时间,从而提高了吞吐量。它还提供多种曝光模式，包括单晶片曝光、多区域曝光和激光扫描曝光。强大的成像系统可减少阵列错误,从而实现高分辨率阵列。步进器包括一个两级振幅单元，允许用户从2种不同的曝光能量中进行选择，这些能量可以针对特定的设备。步进器还提供高级自动化功能,例如Auto Process Start,它允许用户在没有操作员干预的情况下启动流程配方。Auto Focus模块有助于为每次曝光最佳定位掩模和基板。Auto Reticle Change功能允许用户快速更改标线以提高吞吐量和可靠性。Auto Reticle Cleaning Machine允许用户保持标线不受污染和灰尘污染。总体而言,FPA 6000 ES 6A晶圆步进器是制造高精度器件的有效解决方桉。它具有快速的吞吐量、可重复性以及易于编程软件的高控制级别。它还具有一系列高级自动化和高级成像功能,使其成为晶圆级设备生产的理想选择。