二手 CANON FPA 6000 ES6a #9296967 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一种高精度晶圆步进器，设计用于半导体器件工艺的光刻和光掩模模式生成。步进器能够在五英寸（127mm）和八英寸（203mm）直径的晶片上成像小至0.11 µm的复杂高密度特征,分辨率高达2,040像素/英寸（80,000 像素/cm2）。它还能够为高级超大规模集成（VLSI）设备生成0.07 µm的最小设备特性尺寸。步进器由高品位材料构成，为最高精度和可靠性而设计。CANON FPA 6000ES6A具有全自动对准设备，以确保精确的晶圆定位和失真控制，在对较大晶圆场成像时保持全场平坦度。利用激光干涉仪的特点，步进器精确测量所有关键元件的位置，以确保成像精度。此外,该机器的高级成像系统以变速运行,具有亚微米级精度,能够成像最具挑战性的特征,如窄线条或密集图桉。该机配备了高分辨率、低温发射、延长长波长（ELW）的光学单元，能够在整个5英寸和8英寸直径的晶圆上提供均匀的照明。此外,步进器还具有防反射涂层,旨在防止由于光干扰而对图像产生任何有害影响,同时仍可提供出色的成像对比度。对于动态成像,步进器依赖于三维（3D）扫描技术,该技术能够提供高达1,000倍的保真度和分辨率,以提高成像质量。操作环境还具有优化的温度和湿度范围,以提高成像能力,以及设计用于在操作过程中保持机器稳定的隔振机。FPA-6000ES6A有一个可调的阶段，提供无掩模光刻和光学接近校正操作具有卓越的成像质量。此外，步进器最多使用五种照明模式，为各种光刻应用提供最适合的成像轮廓。此外,该计算机还设计为通过用于基本操作的以太网连接和用于高级设置的专用控制面板接口连接到主机。