二手 CANON FPA 6000 ES6a #9305230 待售
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已售出
ID: 9305230
晶圆大小: 12'
优质的: 2005
KrF Scanner, 12"
Wavelength: 248 nm
CYMER ELS-7310 Laser
Magnification: 1/4
Illumination NA: 0.86, σ 0.95 to 0.25
Annular ratio: 1/2 to 3/4
Opening angle: 90 XY Dipole illumination
TEL Lithius track interface
Lens data
Illumination optical system:
AFIS Input switching: 15-Tier turret
Aperture1: 13-Tier turret
Aperture2: 4-Tier turret
Projection lens NA: 0.55 - 0.86
LIPS Focus
Alignment system:
FRA Reticle alignment
AGA Wafer alignment
Reticle SMIF loader:
PPC
Reticle barcode reader (2D), 6"
OMRON Tag reader
Relay FOUP
Right inline
Wafer type: Notch, 12"
Cool plate before exposure (WTC)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a晶圆步进器是一种通用、用户友好的半导体生产光刻机。它是由高端成像设备领先制造商CANON Inc.生产的专用晶圆步进器。这台机器是为高精度和高生产率而设计的.它具有独特的光学元件和计算机控制的配置，使其能够产生具有亚微米分辨率的精湛晶片图样。该设备采用最先进的旋转扫描机构，并采用计算机控制的平面调整，使掩模与晶片之间的对准更加高效和精确。该ES6a能够在大小视图之间无缝切换,提供了无与伦比的灵活性。设备的光学模块配备了大量的多镜头，确保投影图样具有超常的保真度。该系统与行业标准的GDSII数据格式完全兼容，便于数据传输和与第三方软件兼容。除了令人印象深刻的性能外，CANON FPA 6000ES6A还设计方便直观的操作。该系统是完全自动化的,从接触到对齐到步进/扫描仪控制,无需手动干预。此外，这台机器被设计为符合人体工程学，具有广泛的操作员控制选项。曝光设置、焦点位置和运动控制参数等调整都可以从界面上轻松调整。FPA-6000ES6A确保以最小的操作员投入和精力快速、准确地生成完美的模式。CANON FPA-6000ES6A以其顶尖的光学设计、无与伦比的精确度和简单的操作，是高容量半导体生产的理想选择。
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