二手 CANON FPA 6000 ES6a #9384057 待售

ID: 9384057
KrF Scanner, 12" 90 nm.
CANON FPA 6000 ES6a是一种晶圆步进机,设计用于半导体工业。这台机器提供了一种经济高效的生产手段,在生产集成电路时具有高精度和重复性。该机采用了先进的静电光刻系统,使其能够在非常精细的分辨率水平上进行光刻,减少临界步进误差。CANON FPA 6000ES6A允许制造任何具有极宽视野的设计,因为它配备了200毫米平床对准器和防反射涂层物镜。这使得机器提供了比传统步进更好、更精确的视野。该机可实现双面对准精度,这是光刻工艺与IC芯片所必需的。它还有一个整体的两通道连续对准系统,确保在钢和陶瓷载体上稳定和精确的晶圆对准。FPA-6000ES6A有一个带有手动和半自动操作模式的步进控制单元。该机可使用PLC或计算机程序操作,可与工业机器人等生产设备集成,用于全自动生产系统。该机具有先进的真空性能,为其提供了低表压力,可产生优异的光刻效果。此外,机器还配备了一个特殊的自动清洗装置,有助于减少污染的可能性。FPA 6000 ES 6A可以与各种步进量规系统结合使用,在最具挑战性的应用中提供准确和可重复的结果。带有图形显示的直观操纵杆控制器消除了对复杂过程的需求,并允许用户轻松控制机器。FPA 6000ES6A还提供了三种减少类型的选择,即减少一半、减少季度和减少第八次。这种品种允许广泛的光刻应用,包括微加工和纳米加工。总体而言,CANON FPA 6000 ES 6A是一种准确、可靠且经济高效的晶圆步进器,提供卓越的性能和高的操作效率。该机具有自动清洗装置、先进的真空能力、三种减速装置和直观的操纵杆控制器,具有光刻工艺成功所必需的所有特性。
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