二手 CANON FPA 6000 #293587902 待售

CANON FPA 6000是一种先进的晶圆步进器件，具有高分辨率的光学光刻设备。这种装置是为半导体制造而设计的，能够在各种晶圆基板上产生高精度的图样。FPA 6000提供193或248 nm波长的目标光束输出,并提供高达16W的可变激光功率。这使得它可以在广泛的光刻项目中使用，并用光谱校正的透镜系统创建各种图桉。该设备配备了最新的数字图像处理技术，提高了光刻的精确度，能够将已知最小的图像精确地再现到各种表面上，包括半导体晶圆。集成图像处理提供了最小图桉特征的优化和精确放置,如线条和空间、接触、通过孔等。CANON FPA 6000配备了两步自动对准单元，使其能够为每次曝光准确保持所需的晶圆位置。此外，FPA 6000还可用于同轴光刻，并具有1X和7X放大倍率变化、自动变焦和自动换挡等多种高级功能。该设备还能够执行多种曝光技术和脉冲，包括多脉冲和双曝光，可用于有效和准确地控制图桉形状、大小和深度。该设备还配备了高度可靠和精密的显微镜以及三维对准扫描仪。这有助于确保晶片上的图样以0.5微米的最大精度对齐，晶片定位时的重复率小于3微米。CANON FPA 6000也可用于自旋涂层、开发和后处理。这包括电镀、化学蚀刻和各种材料的湿法或干法。总体而言,FPA 6000是一种非常精确、可靠和复杂的晶圆步进器件,可提供优化和精确的结果。其先进的功能、高度精确的成像机、自动对准功能以及多重曝光设置,使其能够灵活、方便地执行一系列项目。