二手 CANON FPA 6300 #293597782 待售

CANON FPA 6300是一种晶圆步进器，旨在提供高精度的光学光刻工艺。它采用CANON专有的激光干涉仪镜面对准（LIMA）技术,使设备能够快速准确地对准单个表面形状。这使FPA 6300能够提供出色的图像质量,分辨率降至纳米级。它还配备了CANON专有的PSM（投影扫描显微镜）设备，使设备能够精确控制扫描在晶圆上的曝光。该系统还允许快速和高精度晶片对准,确保晶片正确曝光以获得最高的图像质量。CANON FPA 6300还有一个模块化的设计，使设备能够适应各种类型的工作流。其模块化元件可用于单层和多层光刻工艺。它的模块化配置也使它非常可靠,并减少了维护的停机时间。FPA 6300的附加功能包括节能模式（Energy Save Mode），大幅降低了设备的能耗，以及清洁集模式（Clean Set Mode），允许在腔室中容易维持清洁水平。该装置还具有一个低振动单元以减少操作过程中的振动影响，以及一个大尺寸的缝隙板以提供更一致的晶圆曝光。此外，CANON FPA 6300附有一台先进的自动晶片处理机，使晶片的批量处理能够减少整体处理时间。该工具还减少了人工，进而提高了整体效率，使设备能够以更快的速度产生更精确的光刻。总体而言,FPA 6300是一种先进且高度深思熟虑的晶圆步进资产,它可以从最小的微观图像中获得最高的精度。其创新技术和先进功能使其能够提供卓越的生产能力和效率。