二手 CANON FPA 6300 #9389983 待售

製造商
CANON
模型
FPA 6300
ID: 9389983
Stepper.
CANON FPA 6300晶圆步进器是一种高度先进的光刻工具,用于半导体制造业。其精确度和性能使其成为各种应用的一个有吸引力的选项。它可以用于高级阵列、抵抗曝光和蚀刻过程。FPA 6300具有多项功能,使其既高效又准确。它拥有一个电动变焦镜头和一个步进重复设备,最大场尺寸为25毫米乘25毫米。这样可以在对具有复杂几何形状的晶片进行阵列设计时实现高精度。它配备了自动对准系统,自动调整焦点以获得最佳精度。步进器还有一个先进的模式识别单元,它甚至可以检测最小的几何误差。这确保了光刻的最高保真度。CANON FPA 6300利用双脉宽调制机降低热效应。这有助于减少辐射对晶片的影响,进而增加图样的保真度。步进器还有一个线性级,最大加速度为10 m/s2,提供跨越晶圆的快速而平滑的运动。它还具有12 msec的高速扫描时间,导致扫描时间短,吞吐量高。FPA 6300还有一个独立的激光聚焦工具,减少了对准设置的数量和所需时间。这样可以实现高聚焦精度和可靠性,从而确保一致的高质量结果。它还具有自动增益控制功能,可确保抗蚀剂的最佳过度曝光,以及内置的图像稳定器,可最大程度地减少闪烁效果。CANON FPA 6300是一种可靠、高效的步进器,具有很高的精度和速度.其先进的功能为半导体制造商提供了竞争优势,使他们能够在更短的时间内获得更高的产量。这最终降低了成本,提高了产品质量,提高了客户满意度和品牌忠诚度。
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