二手 CANON i4 #293827042 待售

CANON i4是利用晶片步进技术在单个晶片上快速生产多份微电子器件的步进重复式扫描仪。它被用于包括光刻、微机械加工、接触掩蔽和其他精密光刻工艺等众多应用。CANON I 4是完全自动化的，可以处理尺寸达4英寸的晶片。它配备了明亮的白光照明源，分辨率达到亚微米级。该步进器可以使用PC兼容软件轻松编程设备,以实现自动曝光控制。其两轴坐标系实现了每个副本的精确和可重复定位，步进器由独特设计的金属底座和双柱结构构成，以获得最大的稳定性。它提供高质量的光学器件，用于精确对准和曝光设备图样。该机还配备了两英寸厚的准直镜头、自动对焦机构以及消除扫描和曝光过程中紫外线辐射暴露可能性的滤光机。I4进一步配备了高精度的闸门阵列，32个闸门中的每一个都可以单独编程。这使得步进器能够以精确的精度和1%精度±标准来产生每一步。步进器还嵌入了一个"实时"光学监控工具，可以连续评估扫描和曝光过程的准确性。这样可以确保每个步骤产生尽可能高的精度,并且周围的环境不会干扰过程的精度。I 4以五年保修为后盾,可在零泄漏环境中运行。CANON i4具有可扩展的模块化构造，便于根据需要进行调整和升级。CANON甚至为该资产提供现场培训和全面维修维护服务。