二手 CANON M31016 #9409288 待售

CANON M31016是一种顶级晶圆步进器，常用于半导体製造过程。它是一个先进的历史记录系统，结合了步进扫描系统和传统步进重复系统的优势。M31016配备了强大的Wyko防反射涂层级，降低了光掩模和晶圆反射率，提高了图像质量。由于其改进的照明器设计,其Precision Point Positioning技术可实现6 nm的分辨率和0.1 µm的精度。通过其5轴级,可以确保更大的视野。其外部扫描仪提供了更多的运动控制,精度降至0.001 mm,使CANON M31016能够轻松处理宽度超过8英寸的晶片。M31016还能够处理高达0.25mm的薄片，精度为0.02 µm。它提供高达135毫秒的高端曝光时间,其1.2纳米的出色分辨率使其非常适合光掩模打印和逆向工程等应用。其复杂的错误预防体系结构确保了一次又一次的可重复、高精度的结果,并得到了提供工具操作实时反馈的高级视频检查系统的支持。CANON M31016包括全面的维护和校准程序,允许用户提高工具性能并减少系统停机时间。一种有效的OPC（基于模型的过程校正）监控算法，通过快速收敛提高了光刻热点对比度，提高了OPC精度。凭借出色的自动化功能,M31016能够显着减少人员投入,从而以更少的资源实现更高的生产效率。CANON M31016还包括一个独特的几何声明站点特征（GDSF）软件,该软件有助于减少未对齐错误并保持对齐精度。还包括一个专门的数据分析工具5D Architect,它使用户能够获得GDSF格式的详细数据可视化,并优化整个生产过程。总之，M31016是一种顶级晶圆步进器，非常适合半导体制造。它的高级功能确保了高精度的结果,而且人员投入极少,使其成为一个强大而高效的工具。