二手 CANON MS800 #9409285 待售

CANON MS800是半导体加工行业领先的晶圆步进器.该机采用高效的光学设备，提供卓越的精度和速度。它还具有先进的自动采样能力，以确保精确的对准和曝光。该机器非常适合大型生产和研发应用。它具有超短焦距镜头高速曝光和大曝光场均匀曝光。当在较高的灵敏度水平下进行曝光时,这样可以确保最大的准确性和最小的失真。该机具有集成隔振系统（VIS），将环境振动对暴露精度的影响降至最低。此外，该机还提供了一个屈曲减小级和一个夹套单元，用于高精度对准。CANON高度先进的曝光控制机允许对每次曝光的曝光设置进行高精度的微调。该工具提供反馈，使曝光能够实时调整，以补偿晶圆表面的变化。MS800有一个先进的自动对焦资产，它有一个12区矩阵来检测和调整曝光的焦平面。该机还提供三维对准和自动曝光控制。该机具有集成视觉检测模型（VIP），有助于检测晶圆表面的缺陷。视觉设备采用高分辨率相机和图像处理算法，提供详细准确的报告。这样就可以检测到否则会被忽视的微小缺陷。该机具有先进的静电充电系统，能够保持清洁的环境。这有助于保持曝光过程的准确性。该机还配备了集成的表面清洁单元，使用特殊的刷子清洁步进器的表面。这有助于确保清洁的生产窗口并防止污染。它还有一个内置的光致抗蚀剂去除机，将污染风险降至最低。该工具可以由真空或光谱压力驱动，这取决于光致抗蚀剂去除过程的复杂性。CANON MS800晶圆步进器是专为大批量生产半导体元件而设计的前沿生产机器。它通过一系列功能提供高效、准确和可靠的操作,以帮助维护产品质量。