二手 CANON TFU-2000 for FPA 5500 Series #293603462 待售
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CANON FPA 5500是一种先进的晶片步进器,能够在半导体晶片的生产和开发中实现高精度和高精度。这种晶片步进器利用先进的成像技术,以及高端光学设备和集成的曝光控制系统来实现精确、高分辨率的成像。FPA 5500中的光学单元利用两个独立的光束,通过两级掩模投影机对焦,实现了较高的图像精度。此工具利用最新的掩码像差校正功能,提供最高成像质量的结果。CANON FPA 5500还包括一个集成的精细聚焦曝光控制资产,可连续监控曝光时间和位置,从而实现精细控制和低噪声曝光。步进器将并行处理单元与能够提供高吞吐量速度的超快速、零失真数据流模型集成在一起。步进器还具有高度的柔韧性,因为它与一系列晶圆尺寸和基板兼容。它还具有较高的对准能力,使其能够精确对准和曝光晶片,且误差很小。此晶片步进器还具有许多专门为特定任务设计的曝光工具。这包括一个用于暴露晶片背面的背面曝光机构,以及一个传感器线路测量设备和自动登记系统,其目的是提高精度和吞吐量。最后,FPA 5500设计用于10类洁净室环境中的操作,确保晶圆步进器操作的无尘环境。CANON FPA 5500作为一种综合且功能强大的晶片步进器,在半导体晶片的生产和开发中保证了高精度和高精度。其先进的成像和集成的曝光控制功能使其成为任何半导体生产环境的理想选择。
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