二手 DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500 #293654411 待售

DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500
ID: 293654411
晶圆大小: 8"-12"
Reticle stocker, 8"-12" (300) Mask SMIF positions.
DMS(DYNAMIC MICRO SYSTEMS)DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500是一种最先进的晶圆步进器,旨在改进集成电路(IC)的制造。步进器设计用于处理6英寸和8英寸晶片,并具有最大扫描字段,最大可达105毫米x 105毫米。该设备具有出色的基板处理性能,可作为高精度的成像、掩蔽和暴露IC的工具。DMS M1500使用独特的双镜头系统,为用户提供可变的NA和可变的工作距离,允许在广泛的基板上成像。光学单元还支持多个波长,在波长和波长范围内提供灵活性。步进器支撑着广泛的基板,能够在一次曝光中容纳最多两个基板。DYNAMIC MICRO SYSTEMS M1500配备高速XY级,能够进行高精度对准、定位和跟踪。它具有大的扫描字段、高可重复性和快速的扫描速率,允许最大吞吐量。步进器还具有一个内置的压电级以支持对准和校准,以及一个先进的可编程控制机器的精度和可重复性。M1500设计方便用户,具有全自动晶片处理工具和基于Windows的软件用户界面,便于使用。该资产还具有内置自动对焦功能和高分辨率自动对焦模型,可提高准确性。步进器利用尖端技术,配备了强大的上层图像处理和图像配准设备,以及强大的实时图像分析系统。DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500还提供掩蔽精度、出色的对比度和分辨率以及高水平的光学扫描精度。该设备非常适合用于光刻和其他制造工艺。它是一种经济实惠、可靠且用户友好的现代半导体制造解决方桉。
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