二手 ELECTROMASK / TRE 5X #9041055 待售

ELECTROMASK/TRE 5X是日本尼康公司设计的最先进的晶圆步进器，用于光刻或图样转移到晶圆上的抗蚀层。这种设备包括一个主透镜、一个标线级和一个投影光学元件，它能够将最小尺寸为1.4微米的图样传递到200毫米晶圆上。光刻的第一步是利用TRE5X光学放大显微镜对标线级进行对准。一旦标线到位，主透镜就可以聚焦在正在处理的晶片上。系统中使用的主透镜由四个透镜组成，其中两个具有0.46的高数值光圈和两个在较大光圈下校正消光的消色差。单位的分辨率极限为晶片上0.25微米，照明均匀度为5%。机器中从标线读取数据的投影光体为四倍4X光学放大显微镜，数值孔径为0.25，图样传递光斑大小为0.5微米。投影光学器件的对准是利用一种可自动补偿放大误差的远心对准进行的。来自标线的信号被传感器拾取，用于调整和监测远心对准。该工具采用CCD摄像机和精密分束器进行位置检测，具有超微米精度。通过将该模型与焦平面相结合，可以精确测量晶片的位置，同时提供高精度的级操作。ELECTROMASK 5X还配备了保护模块和反馈控制系统，以确保设备的安全性和准确性。该系统还包括一个自动加载单元，允许高效和完整的晶圆处理。该机还能一次处理多种晶圆类型。总体而言，5 X是一种高度先进和精密的晶圆步进器，在光刻过程中提供了高精度和精确度。该工具非常适合用于集成电路制造、医学工程和数据存储等领域。