二手 GCA 6300 #131412 待售

GCA 6300是GCA公司制造的最先进的晶圆步进设备。它是一种利用最新投影成像技术的高速、高精度光刻工具.它能够将光掩模定义的电路模式传递到基材表面，如半导体晶圆、光电材料和平板显示器。6300是一种独特的晶圆步进系统，因为它的超高分辨率是由冷凝器透镜的数值孔径（NA）决定的。这样可以生成高达0.5 μ m的阵列元素大小。它还被设计为最大限度地减少失真，允许在成像过程中模式大小和对准的亚微米变化。GCA 6300的扫描级利用高分辨率线性编码器耦合控制了舞台的运动，实现了这一精度。该机组最大吞吐量令人印象深刻，为31晶圆/小时，平均尺寸为6英寸。此外，6300具有先进的扫描仪子系统，可同时处理多达两张相片或相片。这使操作员能够在不同模式之间快速切换，即使在同一晶圆上也是如此。GCA 6300也是完全自动化的，显着简化了用户操作。安装、成像、对准、聚焦控制和机器监控都可以通过计算机控制的精密微电动机完成。该工具为光刻操作提供了充足的灵活性和效率。在安全维护方面，6300拥有一系列功能，可随时确保安全。其集成的安全联锁使交叉污染风险最小化，而三级起动机构则防止资产因频繁运动而疲劳。此外,还采用了真空德加室,以提高图像分辨率.总体而言，GCA 6300晶圆步进器是一种高性能成像工具，能够为各种基材提供优异的效果。它提供超高分辨率、卓越的吞吐量和自动化操作。