二手 GCA 6300B #293830722 待售
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ID: 293830722
DSW Wafer stepper
HP 5501A Automatic Compensator
Resolution: 500 nm
Olympus 2142 Lens
Registration tolerance: Max 0.30 um global alignment, Max 0.15 um local alignment
Maximum die size: ~15 mm x 15 mm
Minimum substrate size: ~10 x 10 mm
Hard Disk Drive (HDD)
Mask plates: 5 x 5 x 0.090", 5x Reduction, Soda lime glass.
GCA 6300B是用于创建半导体微处理器和电子元件的晶圆步进器。这台机器能够创建功能尺寸高达0.4微米的集成电路(ICs)。它具有高达每秒三个完整晶片步长的快速运行速度,并且可以同时处理多达八个阶段。此步进器包含的线性级行程为30.5厘米,分辨率为0.0001mm。它位于一个78厘米X 91厘米的平台上,被一个为正在发生的过程提供最佳温度和大气的环境房屋所覆盖。该机配备了机械光学系统,该系统基于6英寸折射变焦镜头设计。镜头可以提供可变的数值光圈以及高精度和精确度。它还具有自动对焦技术,可确保不断调整以保持最佳聚焦水平。此外,6300B晶片步进器能够通过复杂的图像分析算法进行晶片检测和其他各种成像任务。它可以识别有缺陷的设备,测量其尺寸,并执行其他分析。它还能够进行各种测试,如屈服验证测试和晶圆应力分析测试。该机器具有图形用户界面(GUI),允许操作员以简单的方式与设备进行交互。它还有一个全面的工具库,可用于各种任务,如对齐、控制晶圆位置和验证晶圆标记。总体而言,GCA 6300B晶片步进器是一台功能极其强大的机器,能够快速、精确地执行各种任务。其高度先进的光学系统使其非常适合用于生产错综复杂的高质量集成电路。
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