二手 GCA 6300B #9350318 待售
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ID: 9350318
晶圆大小: 6"
DSW Wafer stepper, 6", parts system
With environmental chamber
G-Line lamp
Control panel
Wire
Vibration isolators
Test reticle
Spare parts
Manuals.
GCA 6300B是由GCA Corporation制造的一种抗蚀性步进器,该公司专门设计和生产光刻机。它是一种利用晶圆步进器将半导体晶圆与集成电路曝光的中场步进扫描光刻设备。6300B的设计符合亚微米光刻的严格要求,超过了早期步进扫描光刻机的精度和分辨率。该系统利用先进的成像技术,提供卓越的工艺控制,提高芯片制造过程的耐用性和吞吐量。机器的核心是先进的高分辨率镜头单元,它以极高的一致性提供卓越的图像质量。此外还有一台自动对准机,用于高精度、高速晶圆对准,确保精确生产复杂的集成电路。GCA 6300B还配备了业界领先的晶圆步进工具。该资产包括一个高度精确的闭环控制晶片级,提供对晶片定位和扫描的精确控制。此外,机器采用精确步进电机,精确扫描晶圆表面与激光二极管精确曝光。这确保了对晶片上掩模图像的精确控制和定位。6300B的另一个关键特征是其先进的自动化计量模型,它利用视觉设备监测暴露模式的均匀性和保真度。此外,还有一个焦点系统跟踪焦平面,以确保图像准确且无失真。此外,该单元的设计具有极致的可扩展性,使其能够升级以处理更大的晶圆尺寸,最大可超过200毫米。总而言之,GCA 6300B是一台先进的晶圆步进机,能够生产出高分辨率、复杂的集成电路,精确度令人难以置信。其闭环晶片级和步进电动机确保图像的精确定位和定位,而其先进的计量系统则提供误差检查和分析。归根结底,6300B是一种高精度亚微米电路生产的优秀中场光刻工具。
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