二手 GCA 6300C #9181535 待售

GCA 6300C是晶圆步进器，一种用于半导体制造的光刻工具。它是一种高精度设备，通常用于将图样从掩模传输到晶圆或基板上。6300C能够以6"、8"和12"晶圆尺寸逐步重复光刻。GCA 6300C的镜头设备由Thorium-Fluoride设计提供动力，允许出色的分辨率和可重复的性能。镜头系统由位于炮塔上的闭环CCD相机操作。这样可以实现高放大倍率和主动对齐功能。CCD相机也用于检测任何对准误差，优化操作员晶圆的位置。步进器连接到计算机单元,该单元允许用户使用所需的设置对计算机进行编程。用户可以输入所需的放大倍率、焦点、基板温度和快门速度。该工具还包括一个波前传感器，用于测量透镜资产的像差，以获得最佳的传输图像质量。6300C是高分辨率、高速光刻应用的绝佳选择。它每天的最大吞吐量为1 20,000个晶圆，可以处理直径达12英寸的晶圆。该模型在248nm的波长下运行，可以达到高达0.3微米的模式分辨率。该设备还可以实现高达0.2微米的特征尺寸，具有出色的线缘粗糙度。GCA 6300C也设计用于低维护操作。设计元素旨在增加上行时间并减少完成全循环对齐的时间。步进器还与标准附件如焦点运动、标线变换器和载荷/卸载系统兼容。它还具有对流辅助蚀刻工艺的能力，是为严格的洁净室要求而设计的。6300C对于需要光刻系统中卓越的分辨率、速度、可重复性和低维护的任何人来说都是一个极好的选择。