二手 GCA 8000/8500 #9101642 待售

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GCA 8000/8500
已售出
製造商
GCA
模型
8000/8500
ID: 9101642
G-Line stepper and parts.
GCA 8000/8500是GCA公司製造的晶圆步进器。设备由四轴晶片处理机器人、精密显微镜、电动晶片级、高分辨率、冷却CCD相机和集成控制系统组成。GCA 8000/8500采用多用途模块化设计,易于升级和界面灵活性。四轴晶片处理机器人负责在机器之间装卸晶片。该机器人能够处理高达200毫米(8英寸)的晶圆,还具有自动对准功能。精密显微镜允许晶片的精确对准,以提供聚焦和放大控制,允许小至0.5 μ m的图样成像。机动化级能够精确定位晶片,确保精确成像和覆盖配准。CCD相机是设备的核心,能够提供0.35 μ m的真实几何和分辨率规格,以实现最高质量的成像。相机还有适合3、5和6英寸晶片的滤色器选择。冷却的CCD可实现高速低噪声图像,从而获得最佳吞吐量。本机具有触摸屏界面的直观控制工具,用户友好,操作简单。集成的搜索和查找功能允许轻松检索存储的模式,GCA 8000/8500提供了高速手动、半自动或全自动曝光的全部功能。GCA 8000/8500非常适合半导体行业的应用,如掩模对准处理、光学掩模检查、磁带自动粘合、MEMS设备制造、IC封装和PCB处理。该资产提供了精密晶圆处理所必需的无与伦比的性能、可靠性和灵活性。
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