二手 GCA 8000 #131413 待售
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GCA 8000晶圆步进器是一种用于制造微电路元件的光学光刻机。它是一种先进的微图化和集成电路光刻工具。该工具用于制造半导体晶圆上的超精确图样。8000的特点包括:自动换标线系统、0.6 µm对准精度、7.5 nm分辨率和自动调平晶片级。再者,其最大图桉尺寸为100毫米x 200毫米,支撑石英、玻璃、硅基板。GCA 8000的操作从设备在步进器中加载标线开始。然后将标线与参考点对齐。然后设备使用一系列小型化透镜将整个标线的图像投射到晶片上。迷你镜头可以调整以改变投影的焦点或放大倍数。光刻曝光后,晶片被送入显影系统.这是一个湿化学过程,导致去除暴露在光线下的光致抗蚀剂。开发的系统包括有多种溶液的储罐,用于清洁和去除光致抗蚀剂。8000是相当令人印象深刻的一项技术,其应用数量众多。它是一种高度可靠、先进的工具,用于广泛的生产线。它能够在缺陷最小的基板上产生准确、高分辨率的图样。该技术可用于各种集成电路的精密制造。
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