二手 GCA 8000i series DSW LASERSTEP 200 #1721 待售
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GCA 8000i系列DSW LASERSTEP 200晶片步进器是一种专门针对图像和步进晶片设计的高性能设备。该系统建立在一系列互锁扫描光学平台上,在轨道引导的错位阶段提供了标线的精确移动。这样可以对晶片上的小特征进行精确和精确的成像,而且失真最小。GCA 8000i包括一个原位失真校正系统,可以为图像采集过程提供实时校正。这确保了晶圆成像的最高精度。步进器还配置了两轴倾斜旋转级,可精确成像角度特征。这对于要求步进器对低、甚至三维特征成像的应用程序特别有用。除了倾斜旋转级之外,GCA 8000i还包括一个带有先进光学器件的可见光显微镜,以给出晶圆的高分辨率视图。它还包括一个可调节的集成光束消隐系统,能够精确聚焦和成像极小特征的晶圆。GCA 8000i的核心是LASERSTEP 200光学成像头。这提供了高精度的晶圆运动,同时保持稳定和可重复性。磁头能够成像小至0.5 µm,自动对准晶片表面。它还具有脉宽调制激光条,以确保精确定位和步进连续性。GCA 8000i是需要高精度成像和步进的晶圆制造和研究应用的理想工具。其先进的光学和晶片移动功能使其成为具有极小功能的成像和步进设备的理想选择。倾斜旋转级为成像和踩踏角度特征提供了无与伦比的精度。原位失真校正和集成光束遮蔽可确保即使晶圆上最小的特征也具有清晰的图像。GCA 8000i DSW LASERSTEP 200晶片步进器是一种可靠、高性能的晶片成像步进工具。
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