二手 GCA 8500 series #21477 待售

GCA 8500 series
ID: 21477
晶圆大小: 6"
Steppers, 6". w/ 2235 i-line lens.
GCA 8500系列晶圆步进器是一种专门用于光刻半导体制造工艺的工具。它利用一个步骤和重复过程来精确地将一个照相图像暴露在硅片上。8500系列的成像功能可降低到0.1 μ m(远比早期系统更精确地),与早期步进器相比,具有更高的吞吐量、更高的精度和更高的分辨率。GCA 8500系列由一套集成的组件组成。它包括辐射源、光成像光学器件、舞台控制设备、舞台控制系统和晶片支架。步进成像单元使用4k和8K光源结合投影光学元件的组合。这些光学器件的设计目的是通过硅片中的精确点精确地投射出晶莹剔透的图像。8500系列舞台控制机保证了10nm水平的高精度和可重复性。它以5轴机械扫描阶段运行。5轴级提供了广泛的运动范围,同时通过保持轴角度紧密对齐来保持高精度。GCA 8500系列晶片处理工具增强了对晶片的关注,精确定位,更好地保护免受灰尘等外部颗粒的损害。晶圆处理资产与位置控制模型相结合,保证了无懈可击的操作和精度。8500系列能够产生非常精确的高分辨率成像。晶圆可以以非常高的速度和高分辨率进行处理。它提供了广泛的高级功能,如复杂的控制、增强的自动化、简单的操作和高产率。GCA 8500系列是一种可靠、经济高效的设备,能够执行光刻、晶片步进和晶片曝光功能。适用于先进的半导体制造、先进的MEMS/LED器件制造、LCD/等离子体显示生产和先进的成像工作。总体而言,8500系列晶圆步进器是用于半导体加工和光刻的可靠、高精度的工具。它为各种应用提供强大的功能、准确性和高性能,是高级半导体制造和其他成像工作的理想选择。
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