二手 GCA ALS 2145 #9411591 待售

GCA ALS 2145是一种在集成电路制造领域广泛应用的微光刻工具。该机采用专利的线性-电机/光学-目标溷合扫描平台，准确定位其对准和曝光设备的投影光学器件。这使得它成为在半导体基板上设计微结构时需要高精度的应用的理想选择。GCA ALS-2145配备了纳米级的级精度，精度高达0.2纳米，能够对小至0.5微米的特征进行图样化。此外，其最先进的CCD摄像机系统和环境扫描装置也提高了其对准精度，能够在不影响其完整性的情况下适应任何外部影响。ALS 2145由于从一个基板到另一个基板的快速切换时间，使得它成为大批量生产的可靠选择，是业界的主力仪器。这种晶片步进器能够通过其独特的双向掩模交换机在每个晶片上采购多达8个不同的标线，即使在超高分辨率下也能产生高吞吐率。此外,其位于运动单元中的High Avoidance工具与交换工具相结合,可以同时加载和处理每个基板。此外，该资产还被设计为易于维护。它在光束路径中没有运动元件，因此不需要定期清洗或对准光学器件。它还有一个内置的自动聚焦选项，具有紧密的光束自动准直和很少的调制调节器，便于安装和校准。ALS-2145是一种功能强大、可靠的工具,可以快速准确地生成高分辨率蓝图,用于生产世界上最新型、最伟大的集成电路。凭借其高吞吐量和精确度，这台机器将在未来几年继续支持半导体行业不断增长的需求。