二手 GCA ALS #35132 待售
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ID: 35132
晶圆大小: 6"
Stepper, G-line (Ziess 10-78-46), 5X reduction, .38NA, .9um resolution, configured for 6" wafers and can be changed to any size, running and ready for demo.
GCA ALS(Application Light Source)是一种用于光刻的晶圆步进器。它为生产半导体晶片和其他相关材料提供了高精度的光学成像和模式对准。ALS配有8通道LED系统,可提供高达6,000 nm的原始光掩模照明和高达10,000 nm的成像分辨率。GCA ALS利用先进的光传输系统,确保光从光掩模精确对准晶圆表面。这样做是为了确保成像结果准确无误。ALS还配备了专门的激光能源,用于烧蚀非金属和非氧化物掩蔽层。总体而言,GCA ALS能够进行与半导体材料生产相关的各种模式化过程。使用ALS机器,可以实现高分辨率成像和高级掩码对准等高级功能。该机还配备了多层堆栈晶片处理系统,为用户提供了全方位的除尘和消除缺陷选项。为了提高吞吐量和准确性,GCA ALS配备了真正的微步进扫描机制,可以在单个曝光场中精确优化操作。此外,由于嵌入式激光标记技术,ALS能够对位置和聚焦层进行实时错误检测和校正。GCA ALS还支持为集成电路(IC)制造的所有阶段引入工艺配方,使用户能够针对广泛的应用开发优化工艺。利用最新的光学成像技术,该机器具有最高的吞吐量和精度。总体而言,ALS是一种精密的设备,为生产半导体材料提供精确的成像和扫描。集成的光传输和激光源技术确保了无错误的结果,并且具有多种可用的特性,因此非常适合广泛的应用。
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