二手 GCA AutoStep 200 #293639166 待售

ID: 293639166
晶圆大小: 6"
i-Line stepper, 6" 1995-1996 vintage.
GCA AutoStep 200是由GCA Corporation开发的精密晶圆步进器。它是一种先进的光刻工具,用于将电路图样传递到晶圆表面。步进器使用专利的光学微投影显示器(OMPD)技术将超精确的数字图像投影到晶圆上。这项技术最大限度地减少了成像失真,并允许生产高度精确和可靠的光敏设备。GCA AUTo-STEP 200设备配备了坚固的光学系统,搭配先进的数字成像和图像处理系统。这种组合为用户提供了高分辨率的结果、出色的可重复性,以及在设计、打印和处理纳米级精密特性和大型模具方面的广泛功能。机器的核心是其多级、高度适应性的投影单元,最小扫描间距为2.5 μ m,最大掩模为40 μ m。这台机器包括镜头和获得专利的反馈机制,以保持极低的线缘粗糙度和较低的线宽误差,并在整个图像上倾斜。对于最精确的作业,AutoStep 200提供了高级自动校正服务,可以纠正任何光学缺陷,如耀斑、像差和阴影。AUTO-STEP 200还有一个功能强大且高度可靠的曝光工具,用于将电路模式精确传输到晶圆上。该资产具有现场平整透镜、快速扫描速度和卓越的可重复性,允许生产高精度和复杂的设备。独特的曝光对准模型可确保电路在晶片上正确对准,从而消除由未对准引起的任何错误或失真。GCA AutoStep 200配备了多项其他最先进的功能,例如一个输入/输出端口,以集成其他光刻系统和工艺、除尘选项以及专门的诊断和监控选项。GCA AUTO-STEP 200除了为用户提供卓越的精确度、精确度和质量结果外,效率也很高,为大型项目提供了快速的设置时间、大的光刻步骤和延长的曝光时间。它的易用性和快速周转时间使它成为任何寻求可靠、自动化光刻工具的专业人士的热门选择。
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