二手 GCA AutoStep 200 #9243635 待售
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ID: 9243635
晶圆大小: 8"
Wafer stepper, 8"
TROPEL 2145 Lens
i-Line (365 nm): 0.45 NA
Field size: 21 mm
With 8860 Environmental chamber
Insitu probe: Probe mount stage and lens reduction
Automatic Wafer Handler (AWH)
(25) Cycles, 6"
Automatic level wafers
RMS10: (10) Reticles, 5"
Maxi 2000: i-Line light source, 700 W
AFS 100 Automatic focusing system
MicroDFAS:
Local alignment system
Alignment prior stepping
SmartSet:
Metrology computer system and store data
Single / Multiple steppers
IQ Probe:
Lamp position and light source
Programmable Platen Control (PPC)
Automatic adjust reticle load position
Integrated Alignment System (IAS)
Automatic digital alignment
Atmospheric Compensation System (ACS)
Nitrogen reduction lens.
GCA AutoStep 200是一种自动化晶圆步进器，旨在最大限度地提高半导体器件制造的采样效率和灵活性。GCA AUTO-STEP 200提供精确且可重複的基板定位，并且需要最少的使用者输入才能运作。该设备配备了自动缩放光学设备，可处理200毫米至8英寸大小的晶片，提供最佳曝光精度。光学系统随后安装了最先进的双传感器自动对焦功能,以确保高分辨率成像。曝光头能够以高达8mm/秒的速度移动,并且可以在X轴和Y轴上进行调整。AutoStep 200由基于GCA专有算法的控制单元提供支持。这台机器通过预测和纠正暴露前的任何潜在位置错误来确保最佳晶圆放置精度。该算法还允许有效的曝光对准，并使工具能够准确地增加或减少暴露的面积。AUTO-STEP 200包括一整套安全功能,可保护晶圆和用户。所有暴露参数都是可编程的，资产包括硬件和软件安全联锁，以确保遵守安全协议。总之,GCA AutoStep 200是一种功能强大且可靠的自动晶片步进器,旨在轻松处理各种基板,并提供精确且可重复的曝光精度。其基于算法的控制模型、全面的安全特性和双传感器自动对焦特性使其成为设备制造应用的理想选择。
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