二手 GCA DSW 8500SE #9252320 待售
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ID: 9252320
Stepper
Lens: TROPEL 2142G (436 nm), DFAS, PPC, 5x Reduction
Illumination: Theta III, insitu, maxi 2000 pulsed
Lamp power: Rated 1050 W
MIMIR 4105 Optical energy controller
Includes:
HVAC Unit (R12)
GCA 6660S Environmental chamber
Chiller
Spare parts
~1992 vintage.
GCA DSW 8500SE是一种分步重复晶片步进设备，适用于半导体制造中的多种应用。该系统具有广泛的光谱灵敏度、超高分辨率、精确的图样放置和快速的吞吐量等特点。机器的灵敏、深紫外光学和先进的光学成像技术使它能够将广泛的光刻胶暴露在广泛的波长和广泛的层厚度上。针对先进的平版印刷工艺进行了优化。精确的步进电机驱动的x-y级允许在整个晶片中精确放置图样。这使得有可能对准和寄存器亚微米精度。DSW 8500 SE的光刻成像精度保持在各种图像强度和比例范围内。机器坚固的机械设计使单元能够以极高的精度工作，即使暴露于其他机器的振动。其真空封闭级保证了步进器运行过程中晶片的最佳稳定性，提高了吞吐量和可靠性。GCA DSW 8500SE提供快速的吞吐量,晶圆加载时间不到两分钟,可获得出色的薄膜均匀性和图像放置稳定性。其先进的成像功能还允许简单的图像缩放和高度先进的覆盖公差。该机的用户友好功能包括可调节光强度的控制面板和易于读取的显示屏，以便快速调整曝光参数。此外,该工具可以通过可选的自动化功能实现自动化。总体而言,DSW 8500SE具有广泛的光谱灵敏度、精度、速度和用户友好的特性,是半导体制造晶圆步进器的绝佳选择。凭借其可靠的先进光学性能和热性能,对于需要可靠、稳定的光刻模型的客户来说,该资产是理想的选择。
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