二手 GCA / ISI ALS 200 #21478 待售

GCA/ISI ALS 200是用于集成电路（IC）生产的晶圆步进器。它是一种步进式机器，每小时的吞吐量高达200晶圆。该设备利用步进和重复技术在短时间内有效生产。GCA ALS 200通过两个阶段的照明为晶片供电。在第一阶段，晶片被一个光源照亮，光源产生一个代表要转移到晶片上的层的点图样。第二阶段是用于曝光晶圆的投影。在此阶段，晶片以高速X-Y级移动，生成的图样在不模煳的情况下转移到晶片上。成功的曝光导致产生通向晶片的电路。ISI ALS 200定位精度高、精度高；它可以在X和Y方向上以1微米的精度在晶圆的整个表面上精确精确地放置标记。它还具有晶圆级位控制两种控制模式的选择。分别是微处理器闭环位置控制模式和计算机视觉开环控制模式。ALS 200还提供可调曝光设置,可根据外部要求进行操作。频率选项允许对UV和低光级应用进行进一步调整。它还提供曝光监控、晶圆对准、数据存储，并且可以与其他系统集成，如胶片跟踪器和自动化。最后,GCA/ISI ALS 200允许在购买和初始安装时进行完整的自定义。这包括定制口罩、胶卷盒式磁带和真空装载机,这些都是可选的,以及手动上载和远程控制系统的功能。