二手 GCA XLS 7800 #9246052 待售

GCA XLS 7800是一种全场光学成像设备,可提供用于晶圆光刻应用的最先进的步进技术。步进器技术将可定制的高精度曝光光学器件与创新的光场透镜结合在一起，以提高对焦深度，允许用户在装有空气滑梯的情况下生产低至12 µm水平的设备，安装光场透镜的18 µm，以及0.35 µm的最小特征尺寸。该系统还集成了GCA专有iCentris™成像控制单元,这是一个集成组件,可实现过程调整和高分辨率成像。XLS 7800是经过验证的生产级光刻机，提供非常高的吞吐量和分辨率。它具有完整的晶片场40mm x 40mm,最大晶片尺寸为200 mm,用于全面服务的晶片扫描和成像。GCA XLS通过其Skyfire™的光学成像工具、独特的对准和成像控制器提供卓越的图像精度和稳定性。每个工具上的Skyfire校准板都用于启动、关闭和整个班次,以提供过程稳定性和可重复性。GCA XLS 7800提供UV-ASMLTM金刚石化光学元件,放大倍率高达3.4倍。这个先进的光学资产提供高分辨率的成像和精确的微调曝光参数，以确保最佳的图像质量。这得益于整个场的高对比度和均匀性，它的动态粒子监测器进一步增强了这一点。XLS 7800还采用了快速更改的标线模型,可提高吞吐量并缩短维护时间。该工具还提供卓越的自动化功能,包括全自动索引、自动对焦、装载识别和边缘检测。步进器设置通过包含的"自动设置"选项自动执行。采用GCA锯齿形眼部图样,有效地保持了指标和步进重复精度.GCA XLS 7800还提供了广泛的抵抗过程,同时支持同一晶圆上的各种抵抗,并提供了一个平台来支持从晶圆到Reticle™激光直接成像。XLS 7800是一种高度可靠且经济高效的成像设备,适用于广泛的晶圆光刻应用,为生产、研发需求提供了功能丰富的多功能解决方桉。它以最小的维护提供最大的吞吐量、精度和工艺产量，是任何先进光刻操作的理想选择。