二手 GCA XLS 7800 #9382955 待售

GCA XLS 7800是一种先进的晶圆步进器,专为广泛的制造过程而设计。该设备具有最先进的光学发动机和高性能XY级,可在各种基板上提供快速、高精度的重复操作。XLS 7800具有单色激光光源和每秒8英寸扫描加速度计安装的激光扫描仪,可实现更高的吞吐量和改进的部分到部分迭加精度。光束光斑尺寸可调，以满足各种曝光要求，包括硬接触光刻和激光烧蚀。系统最多可同时处理24个作业，并具有易于使用的图形用户界面，用于作业提交和管理。GCA XLS 7800还具有高功率、自动化的曝光能力,以实现即使是最复杂的模式的高精度对齐。高速度和准确性的对准确保快速处理和最小的传播误差跨越大基板。自动曝光还可以实现步骤之间的快速转换,从而进一步优化吞吐量。XLS 7800包括一个超低振动平台和一个全局单元控制器，以确保精确和可重复的吞吐量。该机确保了顶尖光刻的稳定性，其自动对焦特性和效率增强提高了所有操作的准确性。该工具还提供了介电涂层和晶圆切片的集成选项,增加了自动化功能。简而言之,GCA XLS 7800是一种自动化晶圆步进器,旨在最大程度地提高吞吐量和精度。其最先进的光学、高性能XY级、激光扫描、自动曝光以及介电涂层和晶圆切片的集成选项相结合,确保在大型基板上获得快速、精确和可重复的结果。