二手 GCA XLS #111828 待售

GCA XLS晶片步进器是半导体工业中用于晶片制造工艺的高度自动化工具。它是一种常用于各种光刻工艺的DUV步进器，如集成电路和MEMS元件上光学和电子电路形成的光刻。XLS Wafer Stepper是一种多光束投影曝光工具,其投影图像尺寸可达6 x 6英寸。它拥有先进的光学设计和专有软件，使其能够实现高度的吞吐量和准确性。多光束曝光工具提供了高效、高质量的光学成像过程和改进的光控制。GCA XLS晶片步进器可以处理各种尺寸的掩模帧（最多8 "x8"）和晶片，范围从3"-8"。步进器具有先进的非接触级设备,精确度为1.5um,曝光装置的曝光速度可高达200Kms （20000秒）。它还提供了具有4nm精度的独特掩码对准系统。强大的电动机使X轴和Y轴的分辨率均达到4nm, theta轴的分辨率达到8nm。此外，XLS Wafer Stepper有一个内置的空气清洗单元，带有连续空气机和两级过滤工具。步进器还具有闪光灯资产和增强的闪光灯，这样它就可以使用特殊的图像迭加，如偏振光和地形函数。自动水平对准模型允许步进器精确测量晶圆的倾斜度，并确保最高质量的曝光。GCA XLS晶圆步进器可以处理复合和二进制掩模层。它还可以使用具有内置高精度注册功能的专用查找表和能够对对齐数据和掩码模式进行高精度编辑的像素级编辑器来处理晶圆对齐设备。总体而言,XLS Wafer Stepper是一项前沿技术,为制造半导体产品提供了强大而准确的解决方桉。其先进的技术和专有的软件使其能够提供高度的吞吐量和准确性，使其成为半导体生产的高效工具。